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정기세미나

미래를 창조하는 포스텍 화학공학과

Numerical Simulation on Silicon Wafer Manufacturing Process

일자
2022.10.06(목)
시간
15:30 ~ 18:15
연사
오현정 연구위원
장소
포스텍 환경공학동 101호
소속
sk 실트론

제목: Numerical Simulation on Silicon Wafer Manufacturin Process

 

내용: Poly Silcon에서 wafer가 만들어 지는 공정을 소개하고 중요 공정인   Crystal Growth, wafering, EPI 공정에 대해 다룬다.

특히 Numerical Simulation 측면에서 각 공정을 해석해 보고 실제 공정에서 어떻게 활용하고 있으며 품질 및 생산성 향상에 어떤 기여를 하였는지 살펴 보고 향후 개발 방향에 대해서 소개한다.