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    미래를 창조하는 포스텍 화학공학과

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    Numerical Simulation on Silicon Wafer Manufacturing Process

    일자
    2022.10.06(목)
    시간
    15:30 ~ 18:15
    연사
    오현정 연구위원
    장소
    포스텍 환경공학동 101호
    소속
    sk 실트론

    제목: Numerical Simulation on Silicon Wafer Manufacturin Process

     

    내용: Poly Silcon에서 wafer가 만들어 지는 공정을 소개하고 중요 공정인   Crystal Growth, wafering, EPI 공정에 대해 다룬다.

    특히 Numerical Simulation 측면에서 각 공정을 해석해 보고 실제 공정에서 어떻게 활용하고 있으며 품질 및 생산성 향상에 어떤 기여를 하였는지 살펴 보고 향후 개발 방향에 대해서 소개한다.