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연구

보유연구장비

미래를 창조하는 포스텍 화학공학과

연구장비정보

한글명
금속유기화학기상증착장치
영문명
MOCVD(METAL ORGANIC CHEMICAL VAPOR DEPOSITION) SYSTEM
모델명
MOCVD Reactor
제작사
보유랩
전화번호
279-8388
용도
박막증착, annealing
작동원리