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연구

보유연구장비

미래를 창조하는 포스텍 화학공학과

연구장비정보

한글명
원자층증착장치
영문명
ADL(ATOMIC LAYER DEPOSITION) SYSTEM
모델명
VSALD-950A
제작사
보유랩
전화번호
279-8388
용도
자가제어반응, 원자층 박막 증착
작동원리